自动线宽测量仪是建立在CCD多位影象的基本上，借助于计算机屏幕测量技术和空间几何计算的强劲软件能力而造成的。根据捕获产品工件表层影象的边沿，开展图象处理，得到影像几何要素的数据信息。

        校正过程：

        1、多点测量的检测差值

        将规范图型板安装在水平工作台子上，采用轮廓光照明。摄像镜头挑选变大倍率，以确保测量只能根据多个部分圆弧（要求采用15个部分圆弧）测量测算圆参数。以自动捕获边沿点的方法得到测量结果，取10次测量圆的状误差。

        2、显像歧变的检测差值

        自动线宽测量仪的摄像镜头挑选大、小和中间变大倍率，挑选适合的规范圆，使圆的像占视场的2/9，在9个部位测量圆的中心座标，以双轴座标转变的标值做为测量结果。

        3、照明影响的检测差值

        摄像镜头挑选大，小和中间变大倍率挑选适合的规范圆，使圆的显像占视场的2/3，应用“总体获取圆"获取出圆的边缘，测算圆直径。

        4、二维长度测量示值误差校正

        应用夹层玻璃刻度尺，在水平轴向和直线方位各测量两个部位，再由客户随意挑选一个部位，共七个部位开展校正测量。每一个部位测量五个长度，每一个长度测量3次，纪录测量值和指标值的差，获得105个示值误差值。

        5、Z轴长度测量示值误差

        使用量块竖起在工作台子上，运用表面光照明，采用全自动聚焦点的方法看准操作台和量块上表层，测量Z方位量块高度值，与名义值对比，明确自动线宽测量仪Z轴长度测量示值误差。